品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,能源,電子 |
每個模塊的廢氣總流量可達1,500slm
每個反應腔有四個獨立的廢氣進口
高達99.99%的處理效率(DRE)
經客戶端測試,在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對半導體EPI制程,特別設計CT-BW-EPI設備
燃燒反應腔的水幕設計大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問題
每個模塊的廢氣總流量可達1,500slm
每個反應腔有四個獨立的廢氣進口
高達99.99%的處理效率(DRE)
經客戶端測試,在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對半導體EPI制程,特別設計CT-BW-EPI設備
燃燒反應腔的水幕設計大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問題
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