橢偏儀主要有這兩種類型

　　橢偏儀一種用于測量一束偏振光從被研究的表面或薄膜上反射后偏振狀態產生變化的光學儀器，用它可以得到表面或薄膜的有關物理參量的信息。

　　

　　橢偏儀中比較具有代表性的是補償式和光度式兩種類型。
 

　　

　　最基本的補償式(或稱消光式)橢偏儀由偏振器、四分之一波片(或補償器)、樣品、檢偏器等部件構成。從光源出射的光束，經過方位可以旋轉的起偏器，成為在某一方位的線偏振光，當它再經過快軸的方位相對于起偏器的方位為45°或135°的四分之一波片時就變成橢圓偏振光，p偏振和s偏振的振幅相等，但它們相對于被測表面的水平及垂直方向的位相差則僅決定于起偏器的方位，可以在0°～360°之間變化。所以只要調節起偏器的方位，使入射的橢圓偏振光經過表面或薄膜反射后重新補償成線偏振光，最后用檢偏器基于消光的原理測定反射線偏振光的方位。根據起偏器和檢偏器的方位的讀數，便可確定橢圓參量ψ和墹。這種消光型的橢偏儀具有最高的測試準確度。光度式橢偏儀，一般是通過連續旋轉檢偏器(或補償器)，測量隨檢偏器的方位變化而變化的反射光強度，從而得到樣品的斯托克斯參量。另一種光度式橢偏儀是利用電光或壓電技術調制光束的偏振狀態，稱為偏振調制橢偏儀。光度式橢偏儀適于快速測量，而且有較高的重復精度，但是一般說來，準確度不如傳統的消光型橢偏儀。