橢偏儀對樣品都有哪些要求？

　　橢偏儀用于測量透明基板上的電介質、有機物、半導體、透明薄膜等各種薄膜的膜厚、介電常數（n、K）及成分比；它具有分析材料各向異性、多層膜、薄膜致密性、多孔材料和聚合物薄膜等特殊結構材料的光學性能的能力，可以測量薄膜的各向異性、雙折射、散射和穆勒矩陣。

　　

　　橢偏儀具有優異性能的多角度手動測角儀和具有優異角度精度的激光橢偏儀可以測量單層和層壓薄膜的折射率、消光系數和薄膜厚度。高速的測量速度使用戶能夠監測單層薄膜的生長和終點檢測，或自動掃描樣品的均勻性?；目梢詮奶囟ǖ娜肷浣呛蛻媒嵌戎羞x擇。自動準直透鏡可確保在大多數平面反射表面上對吸收或透明基材進行準確測量。*集成的多角度測量支持（40°-90°，5°步長）可用于確定疊層的厚度、折射率和消光系數。為了補償測厚的模糊性，激光也用于測厚。

　　

　　橢偏儀用于測量超薄單層薄膜的厚度，小型臺式儀器由橢偏儀、測角儀、樣品臺、自動準直鏡、氦氖激光光源和檢測單元等光學部件組成。選件支持微電子、光伏、數據存儲、顯示技術、生命科學、金屬加工等領域的應用。它對樣品有如下要求：

　　

　　1、樣品狀態：材料一般為塊狀或薄膜狀，對尺寸無特殊要求。

　　

　　2、如果帶基材的薄膜結構需要折射率和消光系數，基層越厚越好，薄膜厚度應小于10um。如果是單層薄膜樣品，無基材，薄膜越厚越好，最好在500um以上；膜層應透明且膜層表面均勻，基材無需透明。

　　

　　3、特殊情況需提前溝通。